Tilavet secdesi niyeti ile eller kaldırılmaksızın "Allahü Ekber" denilerek secdeye varılır. Üç kere "Sübhane Rabbiye'l-ala" veya bir kere: "Sübhane Rabbena in kâne vadü Rabbina lemef'ulâ" denilir. Ondan sonra "Allahü Ekber" denilerek kalkılır.

Tilavet secdesinin rüknü, yüce Allah'a saygı ve tevazu gösterip, secdeden kaçınanlara aykırı davranmak için alnı yere koymaktır. Fakat namaz için rükû ve hasta olan için ima da aynı maksadı yerine getirdiğinden, tilavet secdesi yerine geçer.

Tilavet secdesine ayaktan yere inilmesi ve bu secdeden baş kaldırırken ayağa kadar kalkılması ve böyle kalkarken: "Gufraneke Rabbena ve ileyke'l-masîr" denilmesi müstahabdır. Bu secdeye gidilirken veya bundan kalkılırken alınan tekbirlerde müstahabdır; asıl secde ise, vacibdir. (Üç İmama göre, tilavet secdesi sünnettir.)

Tilavet secdesini yapacak kimsenin abdestsizlikten ve pisliklerden temiz, avret yerlerinin örtülü ve kıbleye yönelik bulunması şarttır.